Park NX15 non è solo molto adatto ai ricercatori in laboratori condivisi per gestire vari campioni e condurre esperimenti multivariati, ma anche adatto agli ingegneri dell'analisi dei guasti per gestire il lavoro sistematico sui wafer.

Misura conveniente del campione (incluse scansioni multiple del campione)

Immagine automatica di più campioni contemporaneamente

Il mandrino multi campione progettato può essere caricato al massimo una volta9 campioni individuali (facoltativo)

Tutto elettricoLo stadio del campione XY può raggiungere una corsa di 150 mm x 150 mm

Accuratezza eliminando il crosstalk dello scannerScansione XY

Ciclo chiuso indipendenteScanner flessibili XY e Z

ortogonaleScansione XY

Informazioni reali e affidabili sulla morfologia della superficie del campione possono essere conservate senza elaborazione software

La vera modalità senza contatto garantisce durata della sonda, risoluzione di imaging e protezione efficace dei campioni

PrestoVelocità Z-servo, raggiungendo la vera modalità senza contatto

Ridurre al minimo l'usura della punta dell'ago consente immagini di alta qualità e ad alta risoluzione a lungo termine

Modalità e opzioni multiple

Modalità di misura completa e metodo di caratterizzazione

Può realizzare gli accessori opzionali e aggiornare le funzioni di espansione

Utilizzato per l'analisi dei guastiMisura elettrica di precisione di (FA)

Park NX15parametro

Scanner

Scanner Z

Scanner flessibile guidato ad alta spinta

Gamma Z-scan:15 μm (30 μm facoltativo)

Scanner XY

Modulo singolo di controllo a circuito chiuso flessibileScanner XY

Campo di scansione:100μmx 100μm

ottica

Sistema ottico coassiale con telecamera visiva

lente obiettivo:Ingrandimento 10x

Campo visivo:

480 μm X 360 μm (fotocamera visiva predefinita da 1,2 megapixel)

840 μ m X 630 μ m (fotocamera visiva predefinita da 5 megapixel)

Sistema di circuito

elaborazione del segnale

ADC:essere utilizzato per X. ADC a 24 bit per sensori di posizione dello scanner Y e Z

DAC:essere utilizzato per X. 20 bit DAC per Y e Z scanner posizionamento

Stand del campione

Campo di spostamento Z della tavola di spostamento:25,5 mm

Gamma di viaggio della tavola di spostamento XY:150 mm X 150 mm

Dimensione del campione:SoddisfareCampione di wafer da 150 mm