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Vaporizzazione riscaldata compatta della serie LSC
Vaporizzazione riscaldata compatta della serie LSC
Dettagli del prodotto
- Gasificazione a grande flusso
- L'LSC-A100 fornisce una gassificazione stabile per materiali come TEOS 600SCCM e H2O 2SLM
- La manutenzione di tutte le apparecchiature può essere effettuata sul front end
- PDA portatile opzionale per monitorare lo stato di esecuzione di LSC e registrare e analizzare i log di esecuzione
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