Il termostato di processo termoelettrico Noah POU è utilizzato nell'industria dei semiconduttori, fornendo il controllo della temperatura da -20 a 90C

Soddisfare i requisiti di processo esigenti con un controllo della temperatura rapido e preciso

Il sistema di controllo della temperatura dell'uso termoelettrico online (POU) fornisce un controllo stabile della temperatura per i processi di incisione al plasma. Il sistema controlla dinamicamente la temperatura del mandrino elettrostatico (ESC) e può essere utilizzato in qualsiasi processo di incisione. La base per la progettazione del sistema termoelettrico di controllo della temperatura LAUDA Noah POU si basa sul principio del cambiamento di temperatura degli elementi Peltier. Questi componenti possono ottenere un controllo della temperatura veloce e preciso, soddisfacendo i requisiti di dispositivi con dimensioni di produzione sempre più ridotte oggi.

Funzioni importanti

Sistema a basso consumo energetico senza compressore e refrigerante

Il settore industriale occupa una piccola area, e se posizionato sotto il pavimento, non c'è bisogno di occupare spazio

Quantità di riempimento estremamente bassa di liquido termoconduttivo

Accessori standard

Serbatoio di riempimento liquido con pompa manuale

Accessori opzionali

Modulo di comunicazione controllabile a distanza (protocollo di comunicazione RS-485)

LAUDA Noah POU sistema di controllo della temperatura online (POU) può risparmiare fino al 90% di energia rispetto ai sistemi a compressore. L'opzione di installazione sotto il pavimento consente al sistema di occupare pochissimo spazio, risparmiando spazio in camera pulita.