La spettroscopia di massa al plasma a accoppiamento induttivo (ICP-MS) è una nuova tecnologia di analisi degli elementi inorganici e degli isotopi che consente di rilevare rapidamente e contemporaneamente quasi tutti gli elementi della tabella periodica. La tecnologia ICP-MS supera le tradizionali tecnologie di analisi inorganiche come la tecnologia spettrale al plasma accoppiato a induzione (ICPAES), l'assorbimento atomico del forno di grafito (GFAAS) e la tecnologia di assorbimento atomico freddo del mercurio (CVAAS) combinate in capacità analitica, ed è conosciuta come lo sviluppo più entusiasmante della tecnologia analitica contemporanea.

Le aree di applicazione della tecnologia Agilent ICP-MS includono:
Analisi dei campioni ambientali, compresa l'analisi delle acque del rubinetto, delle acque superficiali, delle acque sotterranee, delle acque marine e di vari terreni, rifiuti, ecc.;
Analisi dei materiali semiconduttori
Analisi dei campioni di vetro, ceramica e metallurgia mineraria;
• ricerca geologica;
• Ricerche cliniche in ambito bioalimentare e farmaceutico;
Analisi dei materiali nucleari
• Analisi dei campioni petrolchimici;
Applicazioni e ricerca forense;
Recentemente, l'uso della tecnologia di separazione in combinazione con la tossicità ambientale, le scienze della vita e altri settori come il valore degli elementi e l'analisi morfologica sono diventati un punto focale dell'applicazione della tecnologia ICP-MS.
Caratteristiche analitiche ICP-MS:
Rilevamento rapido di quasi tutti gli elementi della tabella periodica contemporaneamente
Limite minimo di rilevamento (fino a ppq)
• Analisi del miglior rapporto beneficio/costo
La gamma dinamica lineare più ampia: rileva direttamente concentrazioni da ppq a centinaia di ppm
Linea spettrale più semplice, interferenza minima, precisione e precisione
Necessità di basso volume di campione (da ul a ml) e velocità di analisi rapida (1-3 minuti / campione)
Modalità di rilevamento flessibili e diverse
Analisi degli inquinanti in tracce superiori nei materiali più utilizzati nell'industria dei semiconduttori:
Solidi: Si; taglia monocristallina GaAa; Quarzo, carburo di silicio e altri materiali per forno; Elettrodi in metallo ad alta purezza
liquido: acqua ultrapura; HF;HNO3; HCI; H2SO4; H2O2; Ammonia ecc.
gas: SiH4; TE0S; NF3; N2 ecc.
Agilent ICP-MS consente di analizzare direttamente campioni organici:
Agilent ICP-MS è stato utilizzato per la misurazione di elementi inquinanti di traccia a livello ppt in una serie di campioni organici.
Per alcuni di questi campioni, altri metodi non possono ottenere risultati soddisfacenti, la tecnologia a plasma rettraffreddato ad alta potenza di schermo è l'unico metodo di analisi.
• detergente forte alcalino - tetrametilidrossido di ammoniaca (TMAH)
Solventi organici comunemente utilizzati: metafenolo, ditafenolo, IPA, ecc.
● campioni ad alta matrice - fotogravure, cristalli liquidi, BPSG, PSG e altri detergenti estremamente volatili - acetone, metanolo, ecc.